Оптыка аптычнай сістэмы дынамічнага сканавання: 1 лінза з невялікім фокусам, 1-2 лінзы з фокусам, люстэрка Galvo. Уся аптычная лінза выконвае функцыю пашырэння, факусоўкі і адхілення прамяня і сканавання.
Пашыральная частка - гэта адмоўная лінза, г.зн. лінза з малым фокусам, якая рэалізуе пашырэнне прамяня і рухомы зум, факусуючая лінза складаецца з групы станоўчых лінзаў. Люстэрка гальванометра - гэта люстэрка ў сістэме гальванометра.
(1) Аптымізацыя канструкцыі лінзы: аптымальнае суадносіны дыяметра і таўшчыні
(2) Высокі парог пашкоджання аб'ектыва:>30 Дж/см2 10 нс
(3) Пакрыццё з ультранізкім паглынаннем, хуткасць паглынання: <20 частак на мільён
(4) Стаўленне таўшчыні да дыяметра гальванометра: 1:35
(5) Дакладнасць паверхні аб'ектыва: <= λ/5
Пост-аб'ектыўны аб'ектыў
Максімальны ўваходны зрэнка (мм) | Оптыка 1 Дыяметр (мм) | Оптыка 2 Дыяметр (мм) | Оптыка 3 Дыяметр (мм) | Поле сканавання (мм) | Чыстая дыяфрагма сканэра (мм) | Даўжыня хвалі |
8 | 15 | 55 | 55 | 600х600 800x800 | 30 | 10,6 мкм |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600х600 800x800 | 30 | 1030-1090 нм |
8 | 15 | 35 | 35 | 300х300 | 10 | 532 нм |
8 | 15 | 35 | 35 | 300х300 | 10 | 355 нм |
Рэфлектарнае люстэрка
Апісанне часткі | Дыяметр (мм) | Таўшчыня (мм) | Матэрыял | Пакрыццё |
Крамянёвы адбівальнік | 25.4 | 3 | Крэмній | HR@10.6um,AOI: 45° |
Крамянёвы адбівальнік | 30 | 4 | Крэмній | HR@10.6um,AOI: 45° |
Валаконны адбівальнік | 25.4 | 6.35 | Плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
Валаконны адбівальнік | 30 | 5 | Плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
Валаконны адбівальнік | 50 | 10 | Плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, AOI: 45° |
532 Рэфлектар | 25.4 | 6 | Плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
532 Рэфлектар | 25.4 | 6.35 | Плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
532 Рэфлектар | 30 | 5 | Плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
532 Рэфлектар | 50 | 10 | Плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
355 Рэфлектар | 25.4 | 6 | Плаўлены крэмній | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Рэфлектар | 25.4 | 6.35 | Плаўлены крэмній | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Рэфлектар | 25.4 | 10 | Плаўлены крэмній | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
355 Рэфлектар | 30 | 5 | Плаўлены крэмній | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Люстэрка Galvo
Апісанне часткі | Максімальны ўваходны зрэнка (мм) | Матэрыял | Пакрыццё | Даўжыня хвалі |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Крэмній | MMR@10.6um | 10,6 мкм |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм | 1030-1090 нм |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плаўлены крэмній | HR@532 нм | 532 нм |
55mmL*35mmW*3.5mmT-X 62mmL*43mmW*3.5mmT-Y | 30 | Плаўлены крэмній | HR@355 нм | 355 нм |
Ахоўныя лінзы
Дыяметр (мм) | Таўшчыня (мм) | Матэрыял | Пакрыццё |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90х60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90х64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90х70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |