Оптыка аптычнай сістэмы дынамічнага сканавання: 1 шт. малофокусная лінза, 1-2 шт. факусуючыя лінзы, гальванізацыйнае люстэрка. Уся аптычная лінза выконвае функцыю пашырэння прамяня, факусоўкі, адхілення прамяня і сканавання.
Пашыральная частка — гэта адмоўная лінза, г.зн. лінза з малым фокусам, якая рэалізуе пашырэнне прамяня і рухомае павелічэнне, факусуючая лінза складаецца з групы станоўчых лінзаў. Гальвалюстэрка — гэта люстэрка ў гальванометрычнай сістэме.
(1) Аптымізацыя канструкцыі лінзы: аптымальнае суадносіны дыяметра да таўшчыні
(2) Парог пашкоджання лінзы: >30 Дж/см2 10 нс
(3) Пакрыццё з ультранізкім паглынаннем, хуткасць паглынання: <20 ppm
(4) Суадносіны таўшчыні гальванометра да дыяметра: 1:35
(5) Дакладнасць паверхні лінзы: <= λ/5
Пасляаб'ектыўная лінза
Максімальная шырыня ўваходнага зрэнкі (мм) | Оптыка 1 Дыяметр (мм) | Оптыка 2 Дыяметр (мм) | Оптыка 3 Дыяметр (мм) | Поле сканавання (мм) | Празрыстая дыяфрагма сканера (мм) | Даўжыня хвалі |
8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 мкм |
12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 нм |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 нм |
8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 нм |
Адбівальнік люстэрка
Апісанне дэталі | Дыяметр (мм) | Таўшчыня (мм) | Матэрыял | Пакрыццё |
Крэмніевы адбівальнік | 25,4 | 3 | Крэмній | HR@10.6um,Кут агляду: 45° |
Крэмніевы адбівальнік | 30 | 4 | Крэмній | HR@10.6um,Кут агляду: 45° |
Валаконны адбівальнік | 25,4 | 6.35 | плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, кут захаду: 45° |
Валаконны адбівальнік | 30 | 5 | плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, кут захаду: 45° |
Валаконны адбівальнік | 50 | 10 | плаўлены крэмній | HR@1030-1090 нм, кут захаду: 45° |
532 Адбівальнік | 25,4 | 6 | плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, кут выпраменьвання: 45° |
532 Адбівальнік | 25,4 | 6.35 | плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, кут выпраменьвання: 45° |
532 Адбівальнік | 30 | 5 | плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, кут выпраменьвання: 45° |
532 Адбівальнік | 50 | 10 | плаўлены крэмній | HR@515-540 нм/532 нм, кут выпраменьвання: 45° |
355 Адбівальнік | 25,4 | 6 | плаўлены крэмній | HR пры 355 нм і 433 нм, кут выпраменьвання: 45° |
355 Адбівальнік | 25,4 | 6.35 | плаўлены крэмній | HR пры 355 нм і 433 нм, кут выпраменьвання: 45° |
355 Адбівальнік | 25,4 | 10 | плаўлены крэмній | HR пры 355 нм і 433 нм, кут выпраменьвання: 45° |
355 Адбівальнік | 30 | 5 | плаўлены крэмній | HR пры 355 нм і 433 нм, кут выпраменьвання: 45° |
Люстэрка Galvo
Апісанне дэталі | Максімальная шырыня ўваходнага зрэнкі (мм) | Матэрыял | Пакрыццё | Даўжыня хвалі |
55 ммД*35 ммШ*3,5 ммВ-Х 62 ммД*43 ммШ*3,5 ммВ-Y | 30 | Крэмній | MMR@10.6um | 10,6 мкм |
55 ммД*35 ммШ*3,5 ммВ-Х 62 ммД*43 ммШ*3,5 ммВ-Y | 30 | плаўлены крэмній | HR пры 1030-1090 нм | 1030-1090 нм |
55 ммД*35 ммШ*3,5 ммВ-Х 62 ммД*43 ммШ*3,5 ммВ-Y | 30 | плаўлены крэмній | HR пры 532 нм | 532 нм |
55 ммД*35 ммШ*3,5 ммВ-Х 62 ммД*43 ммШ*3,5 ммВ-Y | 30 | плаўлены крэмній | HR пры 355 нм | 355 нм |
Ахоўная лінза
Дыяметр (мм) | Таўшчыня (мм) | Матэрыял | Пакрыццё |
75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x64 | 2,5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |